苏州精密网版​浅谈LTCC技术背景

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网版清洗是LTCC加工过程中一道重要的工序,它对LTCC产品中通孔和线条图案精度和连通可靠性起着极为重要的作用。特别是在网版再次使用过程时,只有将网版图案和丝网网孔中的金属浆料清除干净才能满足后续印刷的质量要求。分析了目前清洗工艺的现状,对网版清洗工艺进行优化,通过半自动清洗设备和清洗剂进行分析比较,并对关键工艺因素开展正交试验,获得了较优的工艺参数。

丝网印刷是LTCC技术中导体图形制作的关键工艺，印刷网版的质量直接决定了丝印线条的好坏。介绍了LTCC印刷网版制作的工艺流程，对其关键工艺步骤进行了分析研究，并给出了网版制作过程中的工艺要点。

背景技术：

低温共烧陶瓷（ltcc）技术是上世纪八十年代发展起来的无源元件集成电路技术。ltcc基板支持多层布线，能将部分无源元件集成到基板中，使其具有高速、高频、高密度、高可靠性等优点，有利于系统小型化，可以在提高电路组装密度的同时提高系统的可靠性。因此，ltcc被广泛应用于微波通信、航空航天和军事电子等领域中。

ltcc基板中的导体图案是通过丝网印刷方式实现的。目前，行业内ltcc基板印刷的最细线条是100μm。随着电子装备朝着高频、小型化、高集成度的方向发展，对ltcc基板提出了更高的要求，互连线条由原来的100μm需要提高到50μm。要想实现50μm细线条的加工能力，首先要制作出50μm的高精密网版。因此，高精密网版是实现ltcc基板精密布线制造的基础。

高精密网版的制作主要包括绷网、涂感光胶、曝光和显影等工序。其中，绷网过程中网布规格参数、张力均匀性等因素都影响着网版上线条图案的解析能力和精度。通常，为了降低成本，实现较好的张力均匀性，多采用复合绷网的方式。但是，按照常规方式进行50μm的高精密网版时，要么网布的解析能力差，线条精度超差，要么网版张力均匀性差，不能满足使用要求。

昆山括通丝印器材有限公司于2015年3月在苏州正式成立，公司占地面积: 两千平方米，主营：精密网版、印前设备的研发、定制加工、销售服务；公司始终坚持以质量为生命、客户为中心，持续的研发及制造技术的日益精进，以高品质的产品满足客户的需求，从而达到互赢多赢的企业境界，我们愿与社会各界朋友建立长期、稳固、真诚的合作关系。

公司凭借先进的生产技术，强大的生产能力，可靠的质量保证和优质的售前售后服务，与众多的客户建立了长期友好的合作关系，深受广大客户的好评。

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